[17p-F5-1~15] 7.7 微小電子源

[17p-F5-7] 窒化ハフニウムフィールドエミッタアレイの室温及び低温における電子放出特性の切片傾き解析

^○後藤康仁，安友佳樹，辻博司 (京大院工)

キーワード：フィールドエミッタアレイ,窒化ハフニウム,低温