[17p-PA2-1~27] 5.0 光エレクトロニクス（ポスター）

[17p-PA2-12] SOAとの集積化に向けたInAs/InAlGaAs多重積層量子ドットのICP-RIEエッチング法組成混合による低損失化の検討

^○（M2）松下明日香¹，松本敦¹，武井勇樹¹，赤羽浩一²，松島裕一³，宇高勝之¹ (早大理工¹，情報通信研究機構²，GCS機構³)

キーワード：量子ドット,組成拡散,集積化