[17p-PG1-1~9] 6.1 強誘電体薄膜

[17p-PG1-2] 振動型エネルギーハーベスタ用PZT薄膜の分極方向の検討

^○鈴木靖弘^1,2，牧本なつみ²，舟窪浩³，前田龍太郎²，小林健² (茨大院¹，産総研²，東工大³)

キーワード：エネルギーハーベスタ,PZT,MEMS