[17p-PG1-1~9] 6.1 強誘電体薄膜

[17p-PG1-3] MOD法を用いたPZT/STO薄膜の結晶構造制御

^○尾川弘祐¹，白田和也¹，吉岡秀樹²，山本伸一¹ (龍谷大理工¹，兵庫工技セ²)

キーワード：PZT,強誘電体,MOD