16:00 〜 18:00
[17p-PG1-8] プロトンビームによる誘電体厚膜への直接パターニング
キーワード：強誘電体薄膜,微細加工,プロトンビーム
講演情報
一般セッション(ポスター講演)
06．薄膜・表面 » 6.1 強誘電体薄膜
[17p-PG1-1~9] 6.1 強誘電体薄膜
2014年3月17日(月) 16:00 〜 18:00 PG1 (G棟2階)
一般セッション(ポスター講演)
06．薄膜・表面 » 6.1 強誘電体薄膜
2014年3月17日(月) 16:00 〜 18:00 PG1 (G棟2階)
16:00 〜 18:00
キーワード：強誘電体薄膜,微細加工,プロトンビーム