[17p-PG2-1~23] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[17p-PG2-16] 反応性RFマグネトロンスパッタ法により作製されたニオブ系酸化物薄膜の組成評価

^○與田将士，鶴岡拓朗，桟敷剛，岡野寛 (香川高専)

キーワード：ニオブ系酸化物薄膜