[17p-PG2-1~23] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[17p-PG2-6] 反応性スパッタNiO膜の電気特性に膜の微細構造が及ぼす影響

^○岩田達哉，西佑介，木本恒暢 (京大院工)

キーワード：酸化ニッケル,スパッタリング