[17p-PG3-1~30] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[17p-PG3-12] 不純物添加ＺｎＯ薄膜の極性

^○安達裕，大橋直樹，坂口勲，羽田肇 (物材機構)

キーワード：酸化亜鉛,極性,ドーピング