[17p-PG3-1~30] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[17p-PG3-14] 分子プレカーサー法を用いたIn添加ZnO薄膜製作検討

^○後藤良介，安野泰平，永井裕己，原広樹，佐藤光史，本田徹 (工学院大)

キーワード：透明電極