[17p-PG3-1~30] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[17p-PG3-17] 水溶液法を用いた酸化亜鉛薄膜作製における塩素の影響

^○安部功二，松本拓也 (名工大院)

キーワード：酸化亜鉛,ZnO