[17p-PG3-1~30] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[17p-PG3-20] MOD法を用いてガラス基板上に成膜したZnO系薄膜の特性評価

^○平野貴大¹，山本伸一¹，吉岡秀樹² (龍谷大院理工¹，兵庫工技セ²)

キーワード：酸化亜鉛,透明導電膜