[17p-PG3-1~30] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[17p-PG3-9] 分子プリカーサー法で製作したGa-In-O多結晶薄膜の発光特性

^○尾沼猛儀^1,2，安野泰平²，高野宗一郎²，後藤良介²，藤岡秀平²，畠山匠²，原広樹²，望月千尋²，永井裕己²，山口智広²，佐藤光史²，本田徹² (東京高専¹，工学院大²)

キーワード：酸化ガリウムインジウム,分子プリカーサー法,カソードルミネセンス