[18a-D10-1~13] 6.1 強誘電体薄膜

[18a-D10-3] ランダム振動を用いた圧電MEMS振動発電素子の評価

^○苅谷健人¹，吉村武¹，村上修一²，藤村紀文¹ (阪府大工¹，大阪府立産技研²)

キーワード：エナジーハーベスタ,圧電,BiFeO3