[18a-D3-1~14] 15.1 バルク結晶成長

[18a-D3-11] 多結晶シリコンの粒成長挙動に及ぼす結晶粒界の影響

^○石井雅也¹，藤原航三¹，前田健作²，小泉晴比古¹，野澤純¹，宇田聡¹ (東北大金研¹，東北大工²)

キーワード：多結晶シリコン,界面,粒界