09:00 〜 09:15
[18a-D6-1] MOVPE法による(111)面ダイヤモンド基板上のAlNの高品質化
キーワード：ダイヤモンド,窒化アルミニウム
講演情報
一般セッション(口頭講演)
06．薄膜・表面 » 6.2 カーボン系薄膜
[18a-D6-1~11] 6.2 カーボン系薄膜
2014年3月18日(火) 09:00 〜 12:15 D6 (D209)
一般セッション(口頭講演)
06．薄膜・表面 » 6.2 カーボン系薄膜
2014年3月18日(火) 09:00 〜 12:15 D6 (D209)
09:00 〜 09:15
キーワード：ダイヤモンド,窒化アルミニウム