[18a-D6-1~11] 6.2 カーボン系薄膜

[18a-D6-6] 2インチ大の接合型単結晶ダイヤモンドウェハの試作

^○山田英明，茶谷原昭義，杢野由明，加藤有香子，鹿田真一 (産総研)

キーワード：ダイヤモンドウェハ,マイクロ波プラズマ