2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

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分科企画シンポジウム

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[18a-D9-1~6] Flexible Electronics

2014年3月18日(火) 09:00 〜 12:00 D9 (D315)

09:45 〜 10:15

[18a-D9-3] Multi-Deposition Technology of Highly Transparent Conductive ZnO Thin Films on Polymer Substrates to Control Residual Stress in the Films(30min.)

Tetsuya Yamamoto1,Huaping Song1,Junichi Nomoto1,Hisao Makino1 (Research Inst., Kochi Univ. Tech.1)

キーワード:Highly Transparent Conductive Films,zinc oxide,polymer substrate