[18a-E12-1~10] 16.3 シリコン系太陽電池

[18a-E12-5] オゾン支援を用いたミストCVD法による酸化アルミニウム(AlO_x)パッシベーション膜の特性

^○内田貴之¹，川原村敏幸²，柴山健次¹，藤田静雄¹，平松孝浩³，織田容征³ (京大院工¹，高知工大 ナノ研²，東芝三菱電機産業システム³)

キーワード：Si太陽電池,酸化アルミニウム,パッシベーション膜