2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

13.半導体A(シリコン) » 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[18a-E14-1~10] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

2014年3月18日(火) 09:00 〜 11:45 E14 (E302)

09:00 〜 09:15

[18a-E14-1] 「講演奨励賞受賞記念講演」(15分)プラズモニックメタマテリアルによる非冷却赤外線センサの新機能 -非対称性による偏光検知-

増田恭平1,小川新平2,3,高川陽輔1,宮下晃一1,木股雅章1 (立命館大学1,三菱電機2,NMEMS技術組合3)

キーワード:plasmon,赤外線,偏光