[18a-E14-1~10] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[18a-E14-1] 「講演奨励賞受賞記念講演」（15分）プラズモニックメタマテリアルによる非冷却赤外線センサの新機能 -非対称性による偏光検知-

^○増田恭平¹，小川新平^2,3，高川陽輔¹，宮下晃一¹，木股雅章¹ (立命館大学¹，三菱電機²，NMEMS技術組合³)

キーワード：plasmon,赤外線,偏光