[18a-E14-1~10] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[18a-E14-3] 赤外線吸収膜としてSiONを用いた焦電型赤外線センサの作製と評価

^○大江一樹¹，米丸翔太¹，大石浩史¹，赤井大輔^1,2，石田誠^1,2 (豊橋技科大工¹，豊橋技科大EIIRIS²)

キーワード：赤外線センサ,吸収膜