[18a-E14-1~10] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

▼ [18a-E14-4] Silicon micromechanical resonator with high quality factor fabricated by damage-free neutral beam etching process

^○HalubaiSekhar¹，久保田智広¹，VanToanNguyen²，小野崇人²，寒川誠二^1,3 (東北大流体研¹，東北大院工²，東北大WPI-AIMR³)

キーワード：中性粒子ビームエッチング,シリコンレゾネータ,エッチングダメージ