[18a-E14-1~10] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[18a-E14-6] 走査電子顕微鏡を利用した微小機械振動子の動特性プロファイリング

^○米谷玲皇，中野和洋，石原直，割澤伸一 (東大工)

キーワード：振動,NEMS,計測