2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

13．半導体A（シリコン） » 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[18a-E14-1~10] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

2014年3月18日(火) 09:00 〜 11:45 E14 (E302)

10:45 〜 11:00

▼ [18a-E14-7] Fabrication of SiC/Si Hybrid Accelerometer for High Temperature Applications

○Rakesh Chand1，江刺正喜2，田中秀治1 (東北大工1，東北大、AIMR2)

キーワード：SiC,High temperature,Accelerometer