[18a-E14-1~10] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

△ [18a-E14-8] MEMS Fabry-Perot干渉型表面応力センサの受光素子感度向上

^○桝屋善光¹，髙橋一浩^1,2，小澤遼¹，飛沢健¹，石田誠¹，澤田和明^1,2 (豊橋技科大¹，JST-CREST²)

キーワード：MEMS,フォトダイオード