[18a-E14-1~10] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

△ [18a-E14-9] 高感度質量センサに向けたグラフェンMEMS共振器の製作

^○大橋亮太¹，高橋一浩^1,2，石田誠¹，澤田和明^1,2 (豊橋技科大¹，JST-CREST²)

キーワード：MEMS,Graphene,resonator