[18a-E2-1~5] 17.3 新機能探索・基礎物性評価

[18a-E2-5] 自己検知型AFM式ナノプローバによる遷移金属ダイカルコゲナイド薄片試料の電気特性評価

塩田隆¹，大木敦巳¹，天野佳之¹，二之宮成樹^2,3，森貴洋³，大平恒公³，板谷太郎³，^○安藤淳³ (Wafer Integration Inc.¹，横国大院工²，産総研³)

キーワード：遷移金属ダイカルコゲナイド,ナノプローバ