[18a-E4-1~10] 3.4 計測光学

[18a-E4-3] VIPAを用いた低コヒーレンスコム光発生と干渉形状計測への応用

^○今津貴雅¹，塩田達俊² (埼玉大工¹，埼玉大²)

キーワード：VIPA,干渉計,形状計測