[18a-E4-1~10] 3.4 計測光学

[18a-E4-8] 薄シリコンウェハ検査における白色光干渉断層計と白色光分光厚さ計の比較検討

^○小貫哲平，尾嶌裕隆，清水淳，周立波 (茨大工)

キーワード：薄ウェハ,coherence correlation interferometry,free spectral range