[18a-E5-1~8] 15.6 IV族系化合物

[18a-E5-7] ミラー電子顕微鏡像の転位コントラスト形成要因の検討

^○一色俊之¹，長谷川正樹² (京都工繊大¹，日立中研²)

キーワード：欠陥評価,ミラー電子顕微鏡,SiC