[18a-E8-1~10] 6.3 酸化物エレクトロニクス

△ [18a-E8-4] X線吸収分光法によるTiO₂薄膜のエッチングダメージ評価

^○佐野桂治¹，新部正人¹，川上烈生²，中野由崇³ (兵庫県立大高度研¹，徳島大院工²，中部大総工研³)

キーワード：酸化チタン,XAS,エッチング