2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

06.薄膜・表面 » 6.3 酸化物エレクトロニクス

[18a-E8-1~10] 6.3 酸化物エレクトロニクス

2014年3月18日(火) 09:00 〜 11:45 E8 (E202)

10:30 〜 10:45

[18a-E8-6] TiN導電バッファー層によるVO2薄膜の結晶成長及び転移特性の改善

シュルズモハメッド,沖村邦雄 (東海大院理工)

キーワード:二酸化バナジウム,窒化チタン導電バッファー層,転移特性