[18a-E9-1~2] 8.プラズマエレクトロニクス　分科内招待講演

[18a-E9-2] 「プラズマエレクトロニクス分科内招待講演」（30分）プラズマ微細加工プロセスのモデリングと体系化：シリコンからメタル・高誘電体材料まで

^○斧高一 (京大工)

キーワード：プラズマ微細加工,表面反応過程,モデリング