[18a-F10-1~7] 3.3 機器・デバイス光学

[18a-F10-1] 共振振動を用いたMEMS焦点可変ミラーの境界支持構造の最適化

^○中澤謙太，佐々木敬，羽根一博 (東北大院工)

キーワード：焦点可変,ミラー,MEMS