2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

09.応用物性 » 9.2 ナノワイヤ・ナノ粒子

[18a-F11-1~8] 9.2 ナノワイヤ・ナノ粒子

2014年3月18日(火) 09:30 〜 11:45 F11 (F407)

11:00 〜 11:15

[18a-F11-6] 塗布によるSiナノ結晶薄膜の作製(Ⅰ)

佐々木誠仁,杉本泰,今北健二,藤井稔 (神戸大)

キーワード:ナノ結晶,薄膜,シリコン