[18a-F5-1~11] 7.2 電子顕微鏡，評価，測定，分析

△ [18a-F5-11] スパッタ中性粒子のイオン化とその分布

^○寄崎理真¹，齋藤玲子¹，圷晴子² (東芝生産技術センター¹，東芝セミコンダクター社²)

キーワード：二次中性粒子質量分析法