2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

07.ビーム応用 » 7.2 電子顕微鏡,評価,測定,分析

[18a-F5-1~11] 7.2 電子顕微鏡,評価,測定,分析

2014年3月18日(火) 09:00 〜 12:00 F5 (F305)

11:15 〜 11:30

[18a-F5-9] 磁界を考慮した走査電子顕微鏡におけるフォギング電子シミュレーション

細井創介,熊谷健太朗,半田勇希,小寺正敏 (大阪工大)

キーワード:simulation