2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15.結晶工学 » 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

[18a-F6-1~12] 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

2014年3月18日(火) 09:00 〜 12:15 F6 (F306)

10:45 〜 11:00

[18a-F6-7] a-GeSn/絶縁膜構造の固液共存アニールによる大粒径Ge(Sn)成長 -表面モホロジの初期Sn濃度依存性-

甲斐友樹,知北大典,松村亮,佐道泰造,宮尾正信 (九大院システム情報)

キーワード:GeSn