[18a-F8-1~13] 5.3 光制御

△ [18a-F8-6] 表面活性化接合/イオンスライス/イオンエッチングによるMgO:LiNbO₃薄膜結晶リッジ導波路の作製

^○田中圭祐，栖原敏明 (阪大院工)

キーワード：ニオブ酸リチウム,光導波路,イオンスライシング