[18a-F9-1~10] 5.1 半導体レーザー・発光/受光素子

[18a-F9-2] CMOS互換プロセスを用いた薄膜PIN型Si光検出器のsub-10 GHz応答

^○李根，前北和晃，丸山武男，飯山宏一 (金沢大院)

キーワード：Si光検出器