[18a-PA3-1~2] 7.3 リソグラフィ

[18a-PA3-2] パルスラジオリシスによるポリヒドロキシスチレン固体中での 脱プロトン化反応に関する研究

^○山本洋揮¹，岡本一将²，古澤孝弘¹ (阪大産研¹，北大院工²)

キーワード：パルスラジオリシス,レジスト,EUV