[18a-PG3-1~22] 12.1 作製・構造制御

[18a-PG3-16] フッ化アルキルシラン高分子薄膜の電子アシスト蒸着

中野洸介，田中邦明，^○臼井博明 (東京農工大)

キーワード：フッ素系高分子,蒸着重合,シランカップリング剤