[18p-D1-1~21] 11.1 基礎物性

[18p-D1-10] 原子層成長法を用いたアルミニウム薄膜の特異な特性

^○原田裕一¹，鈴木元^1,2，山口浩司¹ (NTT物性基礎研¹，東京理科大²)

キーワード：原子層成長法,アルミニウム薄膜,臨界温度