[18p-D10-1~9] フェロエレクトリック・イノベーション　－材料からデバイスまで－

[18p-D10-2] HfO₂基薄膜の強誘電性（30分）

^○舟窪浩，清水荘雄，横内達彦，及川貴弘，白石貴久 (東京工業大学)

キーワード：強誘電体薄膜