[18p-D10-1~9] フェロエレクトリック・イノベーション　－材料からデバイスまで－

[18p-D10-9] 着脱式マイクロ流路チップを用いたゾル-ゲル法によるPZT薄膜の直接パターニング技術

^○肥田博隆，八神瞬，神野伊策 (神大工)

キーワード：薄膜パターニング技術,ゾルゲル法,マイクロ流路チップ