[18p-D4-1~13] 11.2 薄膜，厚膜，テープ作製プロセスおよび結晶成長

[18p-D4-1] 低温成膜法により製膜したIBAD-MgO上SmBa₂Cu₃O_y薄膜の超伝導特性

^○渡邊俊哉¹，吉田隆¹，一野祐亮¹，吉積正晃²，和泉輝郎² (名大工¹，ISTEC-SRL²)

キーワード：低温成膜法,SmBa2Cu3Oy