[18p-E10-1~20] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[18p-E10-16] 大型スパッタカソードを用いたIGZO膜質均一性とTFT信頼性

^○小林大士，水野太平，大谷佑介，武井応樹，水野雄介，大久保裕夫，石橋哲，磯部辰徳，新井真，清田淳也，斎藤一也 (アルバック)

キーワード：IGZO,酸化物半導体