[18p-E12-1~21] 16.3 シリコン系太陽電池

[18p-E12-18] p型a-Si:H、a-SiO:H、a-SiC:Hの製膜温度特性の検討

^○傍島靖^1,2，木谷彬彦¹，田中貫¹，矢田貴大¹，佐田千年長^1,2，松田彰久^1,2，岡本博明^1,2 (阪大院基礎工¹，JST-CREST²)

キーワード：薄膜太陽電池