[18p-E12-1~21] 16.3 シリコン系太陽電池

[18p-E12-8] オゾン酸化によるシリコンナノワイヤの細線化

^○（B）石田瑛一¹，山田康晴²，加藤慎也⁵，黒川康良^2,4，山田明^2,3 (東工大工¹，東工大院理工²，東工大PVREC³，JST-さきがけ⁴，JST-FUTURE-PV⁵)

キーワード：シリコンナノワイヤ