2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

13．半導体A（シリコン） » 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[18p-E14-1~21] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

2014年3月18日(火) 13:15 〜 18:45 E14 (E302)

15:30 〜 15:45

[18p-E14-10] 超小型LED励起蛍光検出モジュール

○亀井利浩，住友慶子，辻村範行，小林健，前田龍太郎 (産総研)

キーワード：蛍光検出,MEMS