[18p-E14-1~21] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

△ [18p-E14-13] 局在プラズモン共鳴を用いたトランジスタチャネル領域最表面のラマン評価

^○木嶋隆浩，小瀬村大亮，シティノルヒダヤーモハメドユゾフ，山本章太郎，今井亮祐，小椋厚志 (明大理工)

キーワード：Raman,transistor channels,SERS